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6月8日，半导体设备ETF易方达基金（159558）最新份额为27.01亿份，较前一交易日减少了2900.0万份。当日资金净流出3.17亿元（资金流向是当日计算的资产净值和上一交易日计算的资产净值相减得出的），最新资产净值计算值为73.92亿元。该基金近一周净值上涨1.86%，近一个月净值上涨13.46%。
半导体设备ETF易方达基金成立于2024年6月6日，基金经理为李栩，基金跟踪标的为中证半导体材料设备主题指数，成立以来超额回报为-11.54%，近一个月超额回报为-0.0%。最新披露的基金持仓数据显示，截止2026年3月31日，该基金第一大重仓股为中微公司（688012），持股占比为14.89%。
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